潔凈廠房排氣系統(tǒng)安全技術(shù)措施
發(fā)布者：翼展凈化工程公司瀏覽次數(shù)：發(fā)布時間：2024-02-19
在電子工業(yè)潔凈廠房中各種類型的排氣系統(tǒng)都會涉及安全技術(shù)措施。其中集成電路、液晶顯示器面板制造的潔凈廠房不僅排氣系統(tǒng)和類生，且排氣量大，有的工藝設備排氣口的廢氣排出濃度還較高等，為了確保電子工業(yè)廢氣處理系統(tǒng)的安全可靠運行，在國家標準《電子工業(yè)廢氣處理工程設計標準》（GB 51401—2019） 中作出有關(guān)廢氣處理系統(tǒng)的安全技術(shù)措施規(guī)定，匯總一部分供涉及相關(guān)工程的設計、建造者實施執(zhí)行：
排風中含有燃燒爆炸性、毒性物質(zhì)時，排風系統(tǒng)設計應滿足下列要求：
a.燃燒爆炸性、毒性物質(zhì)未經(jīng)處理的排風管路，應保持相對于路由區(qū)域的負壓值
b.中央廢氣處理系統(tǒng)應按一級負荷供電，一級負荷供電的電量應保證系統(tǒng)排風量不小于正常運行時系統(tǒng)排風量的 50%；
c.排風中含有燃燒爆炸性物質(zhì)時，排風機應設置備用；
d排風中含有極毒或劇毒物質(zhì)時，排風機和處理設備均應設置備用。
依據(jù)生產(chǎn)工藝要求，產(chǎn)品生產(chǎn)過程必須使用極毒、劇毒物質(zhì)時，應采用自動化設備并應采取密閉、隔離和負壓作業(yè)等措施；生產(chǎn)工藝設備中產(chǎn)生有毒有害物質(zhì)的腔體應采取排風措施，并應滿足生產(chǎn)工藝要求的負壓值。揮發(fā)性有機物皮氣排風系統(tǒng)應配置備用風機，且排風機應按一級負荷供電，使用一級負荷供電的風機風量應大于系統(tǒng)排風量的 50%。經(jīng)處理后的工藝設備排出的揮發(fā)性有機物皮氣不應循環(huán)使用。當采用轉(zhuǎn)輪濃縮處理揮發(fā)性有機物廢氣時，派縮后的揮發(fā)性有機物廢氣濃度不應大于燃燒下限的 50%
在美國消防標準 NFPA 318 中對半導體產(chǎn)品制造潔凈廠房排氣管路的消防安全措施作了相關(guān)規(guī)定，如設在潔凈廠房內(nèi)的用于排放含有可燃、易燃物質(zhì)的排風管道的直徑或等效直徑大于或等于250mm 時，排風管內(nèi)應設噴頭，其自動噴水滅火系統(tǒng)的設計噴水強度不得小于 1.9L/(min • ㎡),風管內(nèi)自動噴水滅火系統(tǒng)的設計流量應滿足最遠端5個噴頭的出水量，單個噴頭的出水量不應小于76L/min；水平風管內(nèi)噴頭的距離不得大于 6.1m，垂直風管內(nèi)噴頭的間距不應大于 3.7m；設有噴頭的風管設置的噴頭應便于定期維護檢修。對于可燃、易燃、有毒的工藝排氣系統(tǒng)不得設置防火閥等。對于有毒有害物質(zhì)的排氣系統(tǒng)，經(jīng)廢氣處理后的污染因子濃度應在 PC-TWA值以下排除或輸送有燃燒或爆炸危險物質(zhì)的排氣系統(tǒng)的風管，不應穿過防火墻和防火隔墻。其余酸性、堿性、揮發(fā)性有機物和特種廢氣系統(tǒng)的風管不宜穿越防火墻或防火隔墻，當必須穿越時，排風系統(tǒng)的防火閥設置應遵守下列規(guī)定：不應設置熔片式防火網(wǎng)；含有極毒和劇毒物質(zhì)的排風系統(tǒng)不應設置防火閥，但緊鄰建筑構(gòu)件其中一側(cè)的排風管應采用與建筑構(gòu)件耐火極限相同的構(gòu)造進行保護
② 堿性廢氣系統(tǒng)處理設備宜設置備用，排風機應設置備用。電子工業(yè)潔凈廠房的堿性廢氣系統(tǒng)處理設備和排風機應按一級負荷供電，使用一級負荷供電的堿性系統(tǒng)處理設備和排風機風量應大于系統(tǒng)排風量的 50%。
設計排風管路系統(tǒng)時，應避免風管內(nèi)的揮發(fā)性有機物蒸氣積聚。設置自動噴淋系統(tǒng)的排風管，應避免噴淋排水回流到工藝設備，風管支撐系統(tǒng)應能承載噴淋時風管系統(tǒng)的重量。揮發(fā)性有機物廢氣排風管的設計不宜選用易出現(xiàn)氣體泄漏的管道密封形式或管件。
③揮發(fā)性有機物廢氣處理系統(tǒng)應配置備用風機，且排風機應按一級負荷供電，使用一級負荷供電的風機風量應大于系統(tǒng)排風量的 50%。
VOC 廢氣處理系統(tǒng)應配置風量或風壓低于設定值的報警裝置；爐膛超溫時高溫煙氣從爐膛直排煙道的應急排放管；處理系統(tǒng)的監(jiān)測、日常操作及保養(yǎng)所需的輔助設施及控制系統(tǒng)失效情況下的緊急安全處理措施等安全保護裝置內(nèi)及靠近外門的外墻上設置電氣裝置。
④事故排風系統(tǒng)風機的供電負荷等級不應低于相關(guān)工藝設備的供電負荷等級，并應分別在室設置有事故排風的場所不具備自然進風條件時，應設置補風系統(tǒng)，補風量宜為排風量的 80％，補風機應與事故排風機聯(lián)鎖。
含有劇毒和較毒物質(zhì)的事故排風系統(tǒng)其排氣筒高度不應低于 15m，含有極毒物質(zhì)的事故排風系統(tǒng)其排氣筒高度不應低于 25m。排氣筒出口處的有毒有害物質(zhì)濃度應低于立即危害生命和健康濃度的 50%。需要設置事故通風的場所，宜設置有毒、有害或燃燒爆炸性氣體檢測及報警裝置，報警后聯(lián)動開啟事故通風裝置
